產(chǎn)品名稱

鈣鈦礦鍍膜機(jī)

主要特點(diǎn)

1、樣品位于真空室上方，蒸發(fā)源位于真空室下方，向上蒸發(fā)鍍膜，且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。

2、設(shè)有烘烤加熱功能，可在鍍膜過程中加熱樣品， 烘烤加熱溫度可達(dá) 180℃。

3、設(shè)有斷水、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。

技術(shù)參數(shù)

1、鍍膜室：不銹鋼材料，采用方形前后開門結(jié)構(gòu)，內(nèi)帶有防污板， 腔室尺寸約為 600mm×

450mm×450mm

2、真空排氣系統(tǒng)：采用分子泵+機(jī)械泵系統(tǒng)

3、真空度：鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa

4、系統(tǒng)漏率：≤ 1×10-7Pa

5、蒸發(fā)源：安裝在真空室的下底上； 有機(jī)蒸發(fā)源 4 個(gè)、 容積 5ml ，2 臺(tái)蒸發(fā)電源，可測(cè)溫、

控溫， 加熱溫度 400℃， 功率 0.5KW；無機(jī)蒸發(fā)源 4 套、 容積 5ml ，2 臺(tái)蒸發(fā)電

源， 加熱電流 300A ，功率 3.2KW；蒸發(fā)源擋板采用自動(dòng)磁力控制方式控制其開

啟

6、樣品架：安裝在真空室的上蓋上， 可放置 ?120mm 的樣品、載玻片， 旋轉(zhuǎn)速度 0-30rpm

7、加熱溫度： RT-180℃，測(cè)溫、控溫

8、膜厚控制儀：石英晶振膜厚控制儀， 膜厚測(cè)量范圍 0-999999?